フォトレジスト

最先端の半導体微細化に欠かせない「EUVフォトレジスト」を徹底解説！KrF/ArFベース、ポリマー結合PAG型、分子レジスト、メタルレジストという4種類の化学構造の特徴から、東京応化工業やJSRなど主要メーカーの市場シェアまで分かりやすく紹介します。

EUV露光の課題を克服する「メタルレジスト（無機系フォトレジスト）」を徹底解説！従来の有機系レジストとの性能比較（感度・LER・エッチング耐性）をはじめ、無機コアの凝集や配位子置換などの動作原理、SnやZr・Znといった金属別の具体例までわかりやすく紹介します。

半導体微細化で注目される「分子レジスト（分子ガラスレジスト）」を徹底解説！従来の高分子（ポリマー）レジストとのサイズ・性能の比較やLER低減のメリットをはじめ、非晶質膜を形成する分子設計指針、感光性化合物混合型・一体型の具体例（Noria・カリックスアレーン等）までわかりやすく紹介します。

ネガ型フォトレジストの基礎知識と歴史を徹底解説！ポジ型レジストとの違いや使い分け（厚膜・高エッチング耐性）をはじめ、初期のポリ桂皮酸ビニル（KPR）やゴム系（KTFR）から、g線/i線・KrF・最新のEUV用ネガ型レジストまでの架橋メカニズムと進化の過程をわかりやすく紹介します。

化学増幅型フォトレジスト（CAR）の仕組みを基礎から解説。高感度化を可能にする酸の連鎖反応メカニズムをはじめ、KrF・ArFレジストにおけるベース樹脂やPAGの化学構造の違い、ベーク工程の役割までわかりやすく紹介します。

g線・i線フォトレジストの反応メカニズムと化学構造を分かりやすく解説。ノボラック樹脂とジアゾナフトキノン（DNQ）による溶解抑制機構やウルフ転移の仕組み、クレゾール異性体比率や石垣モデルに基づく樹脂設計まで詳細に網羅しています。

半導体の微細化を支えるフォトレジスト材料開発の歴史を解説。g線・i線からKrF・ArF、最先端のEUVまで、露光光源の短波長化に伴うベース樹脂の光吸収抑制や化学増幅型メカニズムの進化、日本企業が誇る世界シェアの背景を網羅します。