フォトレジスト メタルレジストとは？ 原理・メカニズムや、メタルレジストの具体例を紹介
フォトレジストは、マトリックス組成物に応じて有機系と無機系に分類できます。従来は主に有機系フォトレジストが使用されてきましたが、有機系フォトレジストには、EUV光源に対する吸収効率が低い、エッチングに対する耐性が低い、機械的強度が低い、LE...
研究
フォトレジスト 
プロセス化学 ラボから工場へのスケールアップ｜プロセス化学（工業化研究）の進め方と注意点
ねこお客さんに提供したサンプルが採用されたよ！やったね！次は100kg提供してほしいみたいだよけむさんそれはすごい！前回提供したサンプルが100gだったから1000倍だねねこ1000倍かー。1000回合成するの？けむさんさすがにそれはできな...
プロセス化学 実験室と工場での化学合成の違い｜製造設備と原料の違いについて説明
実験室ではガラス器具を使用して化学合成しますが、工場ではステンレスなど金属製の製造設備を使用して化学合成します。また、実験室では試薬原料を使用し、工場では工業用原料を使用します。この記事では、実験室での化学合成と工場での化学合成の違いを説明...
フォトレジスト 分子レジストとは？ 原理・メカニズムと分子レジストの具体例を紹介
半導体の微細化に伴い、フォトレジスト材料への要求水準が高くなっています。一般的なフォトレジストはマトリックスとして高分子化合物を使用していますが、フォトレジストの性能を改善するために低分子化合物をマトリックスとする分子レジスト（分子ガラスレ...
フォトレジスト ネガ型フォトレジストの種類と開発の歴史をわかりやすく説明
フォトレジストにはポジ型フォトレジストとネガ型フォトレジストの2種類があります。両タイプのレジストは用途・使用箇所により使い分けられます。この記事では、ネガ型フォトレジストとは何か、ネガ型フォトレジストリソグラフィーの仕組み、ネガ型フォトレ...
フォトレジスト 化学増幅型フォトレジスト｜KrF、ArFレジストのメカニズムと化学構造をわかりやすく説明
化学増幅型レジストは、1個の光量子の感光反応で生成した水素イオンが連鎖的に複数の反応を起こして感度を大幅に向上させるレジストです。化学増幅型レジストの代表例として、KrFレジストとArFレジストの化学構造や光照射による反応についてわかりやす...
フォトレジスト g線、i線フォトレジストのメカニズムと化学構造をわかりやすく説明
g線（436 nm）、i線（365nm）のフォトレジストは、ノボラック樹脂、感光材、添加剤、溶媒の混合物です。これら構成成分について化学的に説明します。g線、i線フォトレジストとは？フォトレジストは半導体製造のリソグラフィーにおいてパターン...
フォトレジスト フォトレジスト材料開発の歴史をわかりやすく説明｜g線、i線、KrF、ArF、EUV
半導体材料のひとつであるフォトレジストについて、半導体製造プロセスの中でどのように使用されるのか、フォトレジストとはどのような化合物でどのような働きをするのか、わかりやすく説明します。フォトレジストは光が照射された部分とされなかった部分で現...
化学とAI 化学にAI革命を起こす方法｜論文データ抽出、自動実験ロボット、オープンリポジトリ
世界には、ChatGPTに代表される生成AIなど、AIがシンギュラリティを超えて発展しすぎることを心配している人がいます。一方で化学の世界はAIが発展しすぎている状況ではなく、むしろ化学はAI革命に乗り遅れています。化学の分野でAIを活用し...
フッ素化学 医薬品の約20%はフッ素化合物｜フッ素医薬品の具体例と化学構造
自然界には塩素や臭素を含む有機化合物は多く見つかっていますが、フッ素を含む有機化合物は10種類程度しか見つかっていません。一方、医薬品にはフッ素化合物が多く、医薬品のうち20%程度がフッ素化合物です。なぜフッ素化合物がこれほど利用されている...