PR

研究

プロセス化学

合成化学実験の再現性を高める4つの方法|原料・分析・器具・記録のポイント

合成化学実験の再現性を高める4つの方法(原料の品質管理・分析装置の管理・実験器具の洗浄・実験記録の徹底)を解説。保管条件や使用前分析、乾燥・コンタミ防止対策から実験ノートの記載基準まで、収率ブレや失敗を防ぐ実践テクニックが分かります。
プロセス化学

プロセスパラメータの設定方法|プロセス化学における製造条件の許容範囲と設定例

プロセス化学におけるプロセスパラメータ(製造条件の許容範囲)の設定方法を解説。工場設備のハード面(制御幅や限界値)の確認から、収率・品質を担保するOK/NG領域の見極め、安全域の考え方まで網羅。反応・晶析・乾燥など各工程のパラメータ・評価項目一覧も掲載しています。
プロセス化学

プロセス化学における溶媒の選び方|工場で使える推奨溶媒と回避すべき溶媒

プロセス化学(工業化研究)における溶媒選定のポイントを解説!実験室と工場の選定基準の違いをはじめ、工場で推奨される溶媒(エステル・ケトン等)と回避すべき危険溶媒(ジクロロメタン等)の代替案、ICH残留溶媒ガイドラインまで分かりやすく紹介します。
フォトレジスト

EUVフォトレジストとは?4種類の化学構造と主要メーカーの市場シェアを徹底解説

最先端の半導体微細化に欠かせない「EUVフォトレジスト」を徹底解説!KrF/ArFベース、ポリマー結合PAG型、分子レジスト、メタルレジストという4種類の化学構造の特徴から、東京応化工業やJSRなど主要メーカーの市場シェアまで分かりやすく紹介します。
フォトレジスト

メタルレジストとは? 原理・メカニズムや、メタルレジストの具体例を紹介

EUV露光の課題を克服する「メタルレジスト(無機系フォトレジスト)」を徹底解説!従来の有機系レジストとの性能比較(感度・LER・エッチング耐性)をはじめ、無機コアの凝集や配位子置換などの動作原理、SnやZr・Znといった金属別の具体例までわかりやすく紹介します。
プロセス化学

ラボから工場へのスケールアップ|プロセス化学(工業化研究)の進め方と注意点

化学反応をラボから工場へスケールアップさせる「プロセス化学(工業化研究)」を徹底解説。開発ステージにおける役割やスケールアップのメリットをはじめ、反応・精製条件の設定、熱安全性(DSC/TG)、原料入手性、法令対応(化審法・安衛法等)といった具体的な進め方を分かりやすく紹介します。
プロセス化学

実験室と工場での化学合成の違い|製造設備と原料の選定基準を解説

実験室(ラボ)と工場での化学合成における「製造設備」と「原料」の違いを徹底解説!反応、分液、晶析、濾過、蒸留、乾燥といった各単位操作で使われるガラス器具と工業用設備(ステンレス・ハステロイ等)の対比や、試薬と工業用原料の荷姿の違いまで分かりやすく紹介します。
フォトレジスト

分子レジストとは?原理・メカニズムと分子構造(分岐・スピロ・リング型)の具体例

半導体微細化で注目される「分子レジスト(分子ガラスレジスト)」を徹底解説!従来の高分子(ポリマー)レジストとのサイズ・性能の比較やLER低減のメリットをはじめ、非晶質膜を形成する分子設計指針、感光性化合物混合型・一体型の具体例(Noria・カリックスアレーン等)までわかりやすく紹介します。
フォトレジスト

ネガ型フォトレジストとは?仕組み・ポジ型との違い・開発の歴史をわかりやすく解説

ネガ型フォトレジストの基礎知識と歴史を徹底解説!ポジ型レジストとの違いや使い分け(厚膜・高エッチング耐性)をはじめ、初期のポリ桂皮酸ビニル(KPR)やゴム系(KTFR)から、g線/i線・KrF・最新のEUV用ネガ型レジストまでの架橋メカニズムと進化の過程をわかりやすく紹介します。
フォトレジスト

化学増幅型レジストの仕組み|KrF・ArFの化学構造と反応メカニズムを解説

化学増幅型フォトレジスト(CAR)の仕組みを基礎から解説。高感度化を可能にする酸の連鎖反応メカニズムをはじめ、KrF・ArFレジストにおけるベース樹脂やPAGの化学構造の違い、ベーク工程の役割までわかりやすく紹介します。