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フォトレジスト

化学産業の話題

分子レジスト(分子ガラスレジスト)とは? LERを改善させる新しいフォトレジスト

半導体の微細化に伴い、フォトレジスト材料への要求水準が高くなっています。一般的なフォトレジストはマトリックスとして高分子化合物を使用していますが、フォトレジストの性能を改善するために低分子化合物をマトリックスとする分子レジスト(分子ガラスレ...
化学産業の話題

ネガ型フォトレジストの種類と開発の歴史をわかりやすく説明

フォトレジストにはポジ型フォトレジストとネガ型フォトレジストの2種類があります。両タイプのレジストは用途・使用箇所により使い分けられます。この記事では、ネガ型フォトレジストとは何か、ネガ型フォトレジストリソグラフィーの仕組み、ネガ型フォトレ...
化学産業の話題

化学増幅型フォトレジストについて化学的に説明|KrFレジスト、ArFレジスト

化学増幅型レジストは、1個の光量子の感光反応で生成した水素イオンが連鎖的に複数の反応を起こして感度を大幅に向上させるレジストです。化学増幅型レジストの代表例として、KrFレジストとArFレジストの化学構造や光照射による反応についてわかりやす...
化学産業の話題

g線、i線フォトレジストについて化学的に説明

g線(436 nm)、i線(365nm)のフォトレジストは、ノボラック樹脂、感光材、添加剤、溶媒の混合物です。これら構成成分について化学的に説明します。 g線、i線フォトレジストとは? フォトレジストは半導体製造のリソグラフィーにおいてパタ...
化学産業の話題

半導体フォトレジスト材料開発の歴史をわかりやすく説明

半導体材料のひとつであるフォトレジストについて、半導体製造プロセスの中でどのように使用されるのか、フォトレジストとはどのような化合物でどのような働きをするのか、わかりやすく説明します。 フォトレジストは光が照射された部分とされなかった部分で...